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2025.06.25
微纳加工中的电镀工艺:关键技术及其在MEMS制造中的应用
微纳加工中的电镀工艺:关键技术及其在MEMS制造中的应用
微纳加工电镀工艺是一种重要的微机电系统(MEMS)制造技术，广泛应用于金属微结构成型、互连导线制作、传感器电极制备等领域。随着MEMS芯片向更高集成度和更复杂..一、离子注入技术原理 ···
2025.06.17
刻蚀在微纳加工中的核心作用与关键技术解析
刻蚀在微纳加工中的核心作用与关键技术解析
离子注入技术是一种通过高能离子束轰击材料表面，改变其物理化学性质的精密加工方法。作为微纳加工领域的核心工艺之一，它在半导体制造、 MEMS（微机电系统）和纳米器件制备中发挥着不可替代的···
2025.05.16
刻蚀在微纳加工中的核心作用与关键技术解析
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