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绝缘体上硅材料

SOI 衬底 (Silicon-on-Insulator, 绝缘体上硅) 具有三层结构：顶层的单晶硅薄膜 (器件层)、中间的二氧化硅绝缘层 (BOX 层，Buried Oxide Layer) 和底层的硅衬底。

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