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2025.07.18
腾云创芯携多款硅片产品重磅亮相SEMICON China 2025
腾云创芯携多款硅片产品重磅亮相SEMICON China 2025
离子注入技术是一种通过高能离子束轰击材料表面，改变其物理化学性质的精密加工方法。作为微纳加工领域的核心工艺之一，它在半导体制造、 MEMS（微机电系统）和纳米器件制备中发挥着不可替代的···
2025.07.16
离子注入技术在微纳加工中的关键应用
离子注入技术在微纳加工中的关键应用
离子注入技术是一种通过高能离子束轰击材料表面，改变其物理化学性质的精密加工方法。作为微纳加工领域的核心工艺之一，它在半导体制造、MEMS(微机电系统)和纳米器..一、离子注入技术原理 ···
2025.06.08
原子层沉积技术在微纳加工领域的应用与前景
原子层沉积技术在微纳加工领域的应用与前景
原子层沉积(ATOMIC LAYER DEPOSITION, ALD)是一种先进的薄膜制备技术，通过逐层自限制反应实现原子级精度的薄膜生长，近年来，随着微纳加工技术的快速发展，ALD.···
2025.04.25
微纳加工中的电镀工艺:关键技术及其在MEMS制造中的应用
微纳加工中的电镀工艺:关键技术及其在MEMS制造中的应用
微纳加工电镀工艺是一种重要的微机电系统(MEMS)制造技术，广泛应用于金属微结构成型、互连导线制作、传感器电极制备等领域。随着MEMS芯片向更高集成度和更复杂..一、离子注入技术原理 ···
2025.07.08
原子层沉积技术在微纳加工领域的应用与前景
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原子层沉积(ATOMIC LAYER DEPOSITION, ALD)是一种先进的薄膜制备技术，通过逐层自限制反应实现原子级精度的薄膜生长，近年来，随着微纳加工技术的快速发展，ALD.···
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