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绝缘体上压电材料
POI 衬底 (Piezo-on-Insulator, 绝缘体上压电材料)是一种将压电材料转移到绝缘体衬底材料上的新型压电单晶复合薄膜结构材料。主要应用于射频领域。
产
品
咨
询
结构组成
顶层
厚度约几百纳米的单晶压电层(如钽酸锂或铌酸锂),负责产生压电效应以实现电信号与声波的转换
中间层
氧化埋层(二氧化硅),提供绝缘隔离作用,减少信号损耗
底层
高电阻率硅基底,支撑整体结构并抑制寄生电容
核心优势
01
顶层
厚度约几百纳米的单晶压电层(如钽酸锂或铌酸锂),负责产生压电效应以实现电信号与声波的转换
02
中间层
氧化埋层(二氧化硅),提供绝缘隔离作用,减少信号损耗
03
底层
高电阻率硅基底,支撑整体结构并抑制寄生电容
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